16-разрядные контроллеры серий CS, M, 167х разработаны на базе нового поколения микропроцессоров фирм Infineon (Siemens) - C16x и STMicroelectronics (Thomson) - ST10x, ядром которых является RISC-процессор с мощной периферией и гибкой системой команд. Микроконтроллеры серий XC16X и ST10X269 дополнительно содержат в своем составе DSP-сопроцессор, обеспечивающий высокое быстродействие при выполнении математических операций.

В состав периферии микропроцессоров входит большое количество гибко конфигурируемых таймеров, аналого-цифровые преобразователи, блоки обработки импульсных сигналов, параллельные и последовательные порты, контроллеры событий, сетевые интерфейсы.

C16x, XC16X и ST10x - мировые лидеры среди 16-ти разрядных микроконтроллеров по критериям: производительность, стоимость, набор периферии.